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业务挑战

超声波扫描显微镜（SAT）是透过反射、穿透、分散、材料变化与缺陷产生不同讯号，进而产生不同检验图像作为分析。SAT运用各种不同频率的探头来做各种样品的非破坏检测，其可无损的检测IC内部结构，可分层、多层扫描检测IC内部各项缺陷（裂纹、分层、夹杂物、附着物、空洞、孔洞、晶界边界等），并检测出IC表征和测量材料的属性。

超声波扫描显微镜测试（SAT）

应用场景

▶ 非破坏性、无损伤检测内部结构

▶ 可分层扫描、多层扫描

▶ 可检测各种缺陷（裂纹、分层、夹杂物、附着物、空洞、孔洞、晶界边界等）

▶ 表征和测量材料属性

设备参数

低频：15MHz、25MHz、30MHz

中间：50MHz、75MHz

高频：100MHz、120MHz、230MHz

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