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技术服务|了解ESD测试平台特色与寄生电容问题

2024-03-13 09:26:12 276

  CTI半导体检测及分析中心,致力于为消费品级、工业品级及车规级半导体行业客户提供一站式测试、分析及认证解决方案。目前实验室分别引入Thermo Fisher、HANWA ELECTRONIC双品牌ESD测试平台。


  Thermo Fisher MK4规格


  Thermo Fisher MK4高管脚数ESD测试机,可以满足多管脚数芯片测试需求。


  相比传统的Thermo Fisher MK2测试机,Thermo Fisher MK4支持最高2304pins,避免了多余的转板手续,大幅提高了ESD测试效率。

  • 支持2304pin;
  • 满足HBM/LU最新规范;
  • HBM最高测试能力达8KV;
  • LU测试有7组电源供应;
  • 内建Curve Tracer可在ESD测试前、后进行IV量测;
  • 高电压高电流+/-10V/10A 100V/1A;
  • 速度特快,10 pulse/Sec;
  • 支持QFN/QFP/SOP/SOT/BGA等封装。


  HANWA ELECTRONIC N5000规格


  HANWA ELECTRONIC N5000专业检测仪器,可进行HBM/MM/Latch-up等专业检测。其特色在于机台到GND距离长度极短,减少了继电器寄生电容,提升了测试准确性和可靠性。

  • 支持768pin;
  • 满足HBM/LU最新规范;
  • HBM最高测试能力达8KV;
  • LU测试有7组电源供应;
  • 内建Curve Tracer可在ESD测试前、后进行IV量测;
  • 高电压高电流+/-10V/10A 100V/1A;
  • 速度与Thermo Fisher MK2一致;
  • 支持QFN/QFP/SOP/SOT/BGA/CSP等封装。


  常见测试问题答疑


  问:MK2和MK4是GND relay free的吗?


  答:MK2和MK4不是GND relay free的设备,是用relay,对所有的Pin脚进行接触的设备。


  问:机台GND relay寄生电容对MM,CDM波形有影响吗?


  答:MM测试的时候,一般要使用socket board进行测试。机台在和Socket board接触的时候,是relay进行接触的,所以MM的波形是受到寄生电容的影响的。但是,由于MM是200pF 0ohm的放电模型,放电电流会比较大,因此受寄生电容的影响会比HBM小一些。CDM在测试的时候不使用Socket board,所以不受寄生电容的影响。


  问:ESD HBM测试IO to IO时,由于大部分pin都已经接入,还会有寄生电容的影响吗?


  答:对没有接地的Pin来说,也是有可能产生比较大的寄生电容的,所以还是会受到寄生电容的影响。


  问:ESD寄生电容是从测试角度看的分析,但是从ESD保护角度看,GCMOS也会设计电容来保护电路,那么机台对这种大电容芯片有好处还是坏处?


  答:无论是何种形式的保护电路,寄生电容都会有不好的影响。因为寄生电容是导致HBM波形发生失真的原因,波形失真的话,就不会得到满足规范的测试。


  问:如何解决寄生电容问题?


  答:在传统的ESD测试中,寄生电容问题一直是一个挑战。MK4测试机采用继电器进行接触,不是GND relay free设备,CTI华测检测充分考虑到了这一点,并提供了专业的解决方案。


  在HBM和MM测试中,CTI华测检测使用Socket board进行测试。虽然受到寄生电容的影响,但在CDM测试中,不使用Socket board,从而避免了寄生电容的影响。


  CTI华测检测拥有ESD领域资深技术团队,为客户提供专业的测试报告和技术支持。


  CTI在上海、合肥、中国台湾新竹等地设有ESD/LU实验室,配备专业的ESD检测仪器,确保为客户提供高质量的ESD测试服务。

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